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臭氧氣體輸送系統

臭氧氣體輸送系統
  • 臭氧氣體輸送系統

  • 所屬分類: 產品展示

  • 概要:
    臭氧氣體輸送系統,可產生超純、可靠的臭氧氣體。在清潔的半導體環境中,借助臭氧氣體反應實現原子層沉積 (ALD) 和蝕刻 (ALE) 等薄膜沉積工藝。高純度、高濃度臭氧氣體能夠產生更高的薄膜密度,從而提高產品產量、產品性能和可靠性。
  • 意向提交
產品描述

應用領域:
       化學氣相沉積(CVD)  原子層沉積(ALD)  氧化生長  表面處理  清潔、濕法應用及其他,系統采用高濃度、超純凈臭氧生成技術,配置精準的臭氧濃度檢測、流量、壓力控制和穩定的電源,以及安全防護等附加功能。是一種自由組合的、可高度集成的模塊化臭氧系統,配備多組GTC系列發生器,形成多通道系統,滿足不同臭氧氣體應用需求。

♦臭氧濃度高,濃度高達400mg/L;
♦高臭氧產量可達220g/h;
♦高氣體流量;
♦采用超純發生技術與超純材料及工藝制造,避免金屬污染及析出;
♦水冷型,無氮氣摻加技術;
♦通道數量1-4可選;

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發布時間:2022-05-10 09:18:00

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