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PRODUCT TECHNOLOGIES
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臭氧氣體輸送系統
- 所屬分類： 產品展示
概要:
臭氧氣體輸送系統，可產生超純、可靠的臭氧氣體。在清潔的半導體環境中，借助臭氧氣體反應實現原子層沉積 (ALD) 和蝕刻 (ALE) 等薄膜沉積工藝。高純度、高濃度臭氧氣體能夠產生更高的薄膜密度，從而提高產品產量、產品性能和可靠性。
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產品描述
應用領域：
化學氣相沉積（CVD） 原子層沉積（ALD） 氧化生長 表面處理 清潔、濕法應用及其他，系統采用高濃度、超純凈臭氧生成技術，配置精準的臭氧濃度檢測、流量、壓力控制和穩定的電源，以及安全防護等附加功能。是一種自由組合的、可高度集成的模塊化臭氧系統，配備多組GTC系列發生器，形成多通道系統，滿足不同臭氧氣體應用需求。
♦臭氧濃度高，濃度高達400mg/L；
♦高臭氧產量可達220g/h;
♦高氣體流量；
♦采用超純發生技術與超純材料及工藝制造，避免金屬污染及析出；
♦水冷型，無氮氣摻加技術；
♦通道數量1-4可選；
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自定義
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發布時間：2022-05-10 09:18:00
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