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電子級超純臭氧氣體發生器

電子級超純臭氧氣體發生器
  • 電子級超純臭氧氣體發生器

  • 所屬分類: 產品展示

  • 概要:
    采用高濃度、超純凈、深度精細工藝的臭氧實現技術是該發生器實現的基礎。臭氧被電子工業用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應用。
    GTC發生器能夠產生高濃度、大量流量、高壓力的超潔凈臭氧,整體模塊化,結構緊湊,簡潔、可視化外觀。
  • 意向提交
產品描述

♦臭氧濃度高,濃度高達400mg/L;
♦臭氧輸出壓力高,壓力高達3.0bar;
♦高氣體流量;
♦采用超純發生技術與超純材料及工藝制造,避免、減少金屬污染及析出;
♦水冷型,無氮氣摻加技術;
♦獲得專利的臭氧專用結構設計,確保放電均勻一致性,保證系統性能更穩定; 

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地址:青島市嶗山區株洲路188號甲

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發布時間:2022-05-10 09:18:00

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