產品&技術
PRODUCT TECHNOLOGIES
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電子級超純臭氧氣體發生器
- 所屬分類： 產品展示
概要:
采用高濃度、超純凈、深度精細工藝的臭氧實現技術是該發生器實現的基礎。臭氧被電子工業用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應用。
GTC發生器能夠產生高濃度、大量流量、高壓力的超潔凈臭氧，整體模塊化，結構緊湊，簡潔、可視化外觀。
意向提交
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產品描述
♦臭氧濃度高，濃度高達400mg/L；
♦臭氧輸出壓力高，壓力高達3.0bar；
♦高氣體流量；
♦采用超純發生技術與超純材料及工藝制造，避免、減少金屬污染及析出；
♦水冷型，無氮氣摻加技術；
♦獲得專利的臭氧專用結構設計，確保放電均勻一致性，保證系統性能更穩定；
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自定義
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發布時間：2022-05-10 09:18:00
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