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半導體級高濃度臭氧水系統

半導體級高濃度臭氧水系統
  • 半導體級高濃度臭氧水系統

  • 所屬分類: 產品展示

  • 概要:
    半導體級高濃度臭氧水系統專為半導體行業應用而開發設計,系統采用高濃度、超純凈臭氧生成與混合控制技術,選用高品質、超純耐臭氧材料,實現為半導體行業應用提供超潔凈、高濃度臭氧水。
  • 意向提交
產品描述

♦臭氧水輸出穩定,臭氧水流量2-50L/min可控、可調;
♦應用超純高效混合與控制技術,臭氧水溶濃度實現5-100ppm;
♦臭氧濃度輸出速度快,氣體輸出壓力高, 3.0bar;
♦采用超純發生技術與超純材料及工藝制造,避免金屬污染及析出;
♦設備具有互鎖、聯動保護功能,發生異常及時進行有效警示與保護。
♦設備可與外部進行通訊,實現數據傳送以及進行遠程控制。

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發布時間:2022-05-10 09:18:00

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